第320章 你的手比光刻机更不可替代（1 / 2）

华科院半导体研究所。

暗室亮著红色安全灯。

光影把所有东西都染成了血色。

吴建华站在光刻机旁。

两眼布满红血丝。

下巴冒出一片灰白胡茬。

他在这间屋子里熬了三天三夜。

第一批八百颗t/r组件晶片的流片结果，全摊在工作檯上。

老周蹲在角落分拣。

合格的放左边，废的放右边。

左边的堆缓慢长高。

右边的堆长得更快。

“老吴，数出来了。”

老周直起腰，膝盖咔吧响了一声。

“合格六百零二颗。”

吴建华在脑子里盘算。

百分之七十五。

比顾总工预估的百分之八十，低了五个百分点。

“前三百颗没问题，良率在百分之八十三左右。”

老周翻开记录本。

“从第三百五十颗开始往下掉，越到后面废得越多。”

“最后一百颗，废了將近四成。”

吴建华沉著脸，走到光刻机前蹲下。

这台国產接触式光刻机是全所的宝贝。

机身的漆皮磕掉了好几块，露出底下的灰色铸铁。

他伸手摸向掩模版固定架的导轨。

导轨边缘有极细微的磨损。

“老周，你过来看。”

老周凑上前。

“导轨磨损了。”

“套刻对准每跑一批就会漂一点。”

“漂到后面，三微米的线宽容限根本兜不住。”

老周张了张嘴：“那……换导轨？”

“换个屁。”吴建华站起身，一巴掌拍在机器外壳上。

“全国就这么一台能干这活的光刻机，备件找谁去要？找老天爷？”

暗室里安静下来。

红色灯光拉长了吴建华的影子。

“打电话。”他说。

“打给谁？”

“长空基地顾总工！”

……

吴建华大步走出去，抓起桌上的红色保密专线电话，要通了长空基地。

长空基地。

顾昭昭的办公室。

桌上的红色保密专线电话响了三声。

顾昭昭放下笔，拿起听筒。

“顾总工，我吴建华。”

“说。”

“第一批八百颗流完了，良率百分之七十五，没达標。”

听筒那头沉默了一秒。

“前段和后段的良率分別多少？”

吴建华报了数。

“光刻机连续作业多长时间了？”

“七十二小时。”

“暗室环境温度波动范围？”

吴建华顿了一下，转头冲老周喊：“温度记录仪拿来！”

老周扯下纸带念数据。

“最高二十三点八度，最低二十一点六度。”

“波动正负一度左右。”

吴建华对著话筒重复了一遍。

“光源用了多久没换？”

“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”

“掩模版的材质？”

“钠钙玻璃。”

话筒那头没声了。

吴建华握著听筒，手心出了汗。

电话线里传来极轻微的翻页声。

顾昭昭在翻她的笔记本。

“吴所长，三个问题。”

吴建华猛地挺直腰板。

“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”

吴建华捏紧了话筒。

“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”

“后段的废片，至少有一半是这个原因。”

“第二，光源衰减。”

“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”

吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。

“解决办法——去找一台高精度的恆温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以內。”

“灯管立刻换新。”

“每做完五十片，停机重新校准一次套刻对准標记。”